国家大基金二期结构半导体装备零部件的最新动向，让海内装备零部件企业再次站优势口。
3月31日，万业企业(600641.SH)通告称，大基金二期、上海半导体装备质料产业投资基金合资企业(有限合资)拟向公司参股子公司浙江镨芯划分增资3.5亿、0.4亿元。本次增资后，大基金二期持股17.284%。资料显示，浙江镨芯持有镨芯控股73.11%股权，镨芯控股则持有全球领先的半导体装备零部件供应商Compart100%股权。
Compart是全球少少数可完成流量控制领域零组件周详加工所有环节的公司之一，产物主要包罗气体运送零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器(MFC)等，是集成电路行业中高端MFC组件的领先者，在中国深圳及马来西亚库林拥有两座工厂。
值得注重的是，这是大基金首次结构半导体装备零部件环节。事实上，已有多家A股上市公司进军半导体装备零部件领域，海内半导体装备零部件行业真的迎来春天了吗？
晶圆厂扩产拉动半导体装备及零部件需求
全球缺芯潮之下，晶圆厂不停扩产，投资额也不停拉高。
据不完全统计，台积电、三星、SK海力士、英特尔、中芯国际、华虹半导体等晶圆厂在近两年都有差异规模的新增产能投入。国际半导体产业协会(SEMI)估量，2021年中国大陆的芯片厂房建设投资有望创下180亿美元历史新高，2022年将进一步提升至270亿美元，同比增进50%。
SEMI展望，2021年全球半导体装备市场规模将达953亿美元，同比增进34%；2022年这一数字有望到达1013亿美元，同比增进6%；2020-2022年复合增进率(CAGR)到达19%。
据悉，现在全球半导体零部件市场主要包罗两部门：一是全球半导体装备厂商定制生产或采购的零部件及相关服务。VLSI数据显示，2020年半导体装备子系统市场销售规模靠近100亿美元，其中维修和支持服务占46%，零部件产物销售占32%，替换升级占22%；二是全球半导体制造厂直接采购的作为耗材或备件的零部件及相关服务。
从市场名目来看，美国、日本公司在半导体装备零部件方面处于垄断职位。据ICWorld2020公然的20类半导体焦点零部件产物的44家主要供应商，其中美国供应商有20家，约占45%，日本供应商16家，约占36%。此外，另有2家德国供应商、2家瑞士供应商、2家韩国供应商、1家英国供应商。
虽然第一财经此前调研发现，海内半导体装备厂和半导体制造厂更倾向于使用本土零部件，但据光大证券，现在国产半导体装备零部件企业的手艺能力、工艺水平、产物精度和可靠性与外洋差距较大，整体国产化率仅为10%-30%，尤其是在Compart相关的流量控制领域，之前的国产化率险些为零。
安徽肥西检察机关依法提前介入郭某东涉疫案件
记者11日从安徽省人民检察院获悉，日前，郭某东因涉嫌妨害传染病防治罪被安徽省合肥市肥西县公安局立案侦查，肥西县人民检察院依法派员提前介入该案。
不外，现在本土半导体装备零部件厂商在钣金件、金属件、腔体等一些手艺壁垒相对容易突破的领域已经完成了一定水平的国产化，甚至外洋头部半导体装备厂商出于成本优化的考量，也会向本土厂商采购响应的零部件。
另据芯谋研究，2020年中国大陆晶圆厂直接采购零部件金额跨越10亿美元。剔除三星等外洋厂商在我国的产线，中芯国际、华虹团体、长江存储、合肥长鑫等海内晶圆厂直接采购零部件金额约4.3亿美元。
多家上市公司结构半导体装备零部件
现在海内已有多家企业结构半导体装备零部件环节，包罗英杰电气(300820.SZ)、万业企业、新莱应材(300260.SZ)、靖江先锋、晶盛机电(300316.SZ)、江丰电子(300666.SZ)等。
英杰电气主要供应装备用功率控制器、射频电源等，配套MOCVD、蓝宝石炉、碳化硅装备等。2017年，公司实现PD系列可编程直流电源的大批量生产和替换，成为海内为数较少的能够生产该类电源产物的供应商，也是现阶段海内MOCVD装备主要制造商中微半导体境内MOCVD电源的供应商。
资料显示，MOCVD(薄膜沉积)装备是LED制造中最主要的装备，占LED生产线近50%成本。此前MOCVD装备市场一直由外洋企业主导(德国AIXTRON、美国VEECO)。
万业企业2020年12月通过团结收购新加坡Compact结构半导体零部件营业。Compact主营营业包罗BTP组件、装配件、密封件、气棒总成、MFC质量流量控制器、焊接件，焦点客户包罗UCT、ICHOR等，终端客户包罗应用质料和泛林半导体等。现在Compact收入规模在1亿美元左右。
新莱应材主营半导体产物为组成高清洁流体管路系统和超高真空系统之要害组件，包罗真空室、泵、阀、法兰、管道和管件等，客户包罗美商应材、LAM、北方华创、中微半导体等。公司还于2019年底刊行可转债募资2.8亿元加大投入半导体气系一切。
此外，中微公司(688012.SH)全资子公司中微惠创具备废气处置装置的制造能力；北方华创全资子公司北方华创微电子2020年收购关联方北广科技持有的射频应用手艺相关资产，在电气类零部件方面，北广科技具备一定的可编程电源、射频电源生产能力。
在半导体要害辅材耗材方面，晶盛机电确立了以高纯石英坩埚、抛光液及半导体阀门、管件、磁流体、周详零部件为主的产物系统。其已向客户批量销售32英寸合成坩埚，并研发了36英寸石英坩埚。
江丰电子半导体零部件主要结构PVD机台用ClampRing、Collimator，CVD、etching机台用faceplate、showerhead等，化学机械研磨机台用金刚石研磨片、RetainingRing等。
天风证券以为，半导体装备零部件受到下游晶圆厂扩产拉动装备采购需求的影响，同时本土半导体装备厂商也有零部件国产化的需求，看似行业增进逻辑清晰，但思量到装备零部件种类繁多，本土装备零部件是否能真的迎来行业春天，还要取决于装备厂商的国产化率提升速率，以及相关产业链公司的手艺实力。
(冯丽君)
【编辑:彭婧如】