现在的硅基半导体芯片在进入10nm之后越来越难以生产，预计2nm到1nm节点就有可能面临无法继续的问题，半导体行业也在起劲开发新手艺，好比硅光子芯片手艺，而ASML公司所在的荷兰就大肆投资77亿元研发硅光子手艺。
在硅基芯片时代，ASML公司最终成为半导体行业中的王者，尤其是EUV光刻机唯一份，5nm及以下节点都要依赖ASML的EUV光刻机，现在售价就要10亿一台了，再下一代的高NA光刻机售价要涨到19亿以上了。
若是未来硅光子芯片快速取代硅基芯片，那ASML公司显然会失去领先的职位，这也是为什么荷兰巨资投资硅光子手艺引人注重的要害，希望下一个ASML照样掌握在他们手里。
凭证他们的投资设计，总投资为11亿欧元，约合77.3亿人民币，其中4.71亿欧元的投资来自荷兰政府，接下来是荷兰的两所大学Eindhoven理工大及Twente大学，资金则会由荷兰基金机构Delta Photon 认真治理。
据悉，跟现在的硅基芯片相比，硅光子芯片是基于硅和硅基衬底质料（如 SiGe／Si、SOI 等），行使现有 CMOS 工艺举行光器件开发和集成的新一代手艺，连系了集成电路手艺的超大规模、超高精度制造的特征和光子手艺超高速率、超低功耗的优势，被以为是摩尔定律失效之后的推翻性手艺。
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现在主要的半导体大国都在起劲研发硅光子手艺，其中Intel、IBM等公司在这个领域已经取得主要希望，海内也在鼎力生长硅光子手艺。
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